美国alicatmw低压气体质量流量控制器
美国alicatmw低压气体质量流量控制器 产品详情
美国alicat mw气体质量流量计/气体质量流量控制器
标准精度 (nist可溯源): +/- (0.8% rdg + 0.2% f.s)
高精度 (选配): +/- (0.4% rdg + 0.2% f.s)
以上精度适用于所有预置气体及通过气体编辑器(composer™)生成的自定义气体
典型质量流量计响应时间常数: 5 毫秒 (超低流量下可能为10毫秒)
多种气体标定: 气体选择(gas select™)5.0版预置多达130种常用气体，另内置气体编辑器(composer™)允许用户自定义混合气体
满量程范围: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常规设备线性范围: 0.5-* f.s, 量程可调比 200:1
316l结构设备线性范围: 1-* f.s, 量程可调比 100:1 (ms系列)
大允许管路压力: 145 psig (标准) / 50 psig (mw低压损系列)
常规设备满量程压损: 1-9 psi, 取决于流量范围
“whisper” 低压损系列(mw)满量程压损: 0.06-0.69 psi, 取决于流量范围
标准通讯方式: rs-232数字通讯和0-5v模拟通讯
选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 ma; 第二道模拟输出信号可选
选配通讯协议: rs-485, modbus rtu (基于rs-232或rs-485), profibus
通讯接口: 8针mini-din
选配通讯接口: 9针或15针d-sub接口, 可定制引脚分配
动态显示质量流量、体积流量、压力和温度等过程参数
标准显示屏: 2.1″ 单色lcd数字式触摸显示屏
选配显示屏: 2.1″ 背光彩色tft数字式触摸显示屏
有条件的终身质保
对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感气体选择(gas select™)功能5.0兼容气体列表 — 适用于所有艾里卡特质量流量计&质量流量控制器所有艾里卡特设备已将完整的nist ref prop 9 系列气体性能数据融入预置的130种兼容气体列表，供用户实时选择、校准。用户可在预置的气体列表范围内随时切换气体，并无需对设备进行再校准，所有预置气体的校准均具有设备应有的nist可溯源校准精度。 (详见各项产品规格参数)气体选择(gas select™)功能5.0兼容气体列表 — 适用于所有艾里卡特质量流量计&质量流量控制器
所有艾里卡特设备已将完整的nist ref prop 9 系列气体性能数据融入预置的130种兼容气体列表，供用户实时选择、校准。用户可在预置的气体列表范围内随时切换气体，并无需对设备进行再校准，所有预置气体的校准均具有设备应有的nist可溯源校准精度。 (详见各项产品规格参数)
产品概述
alicat的ms系列数字式质量流量计可精确、快速测量腐蚀性气体(如：nh3、h2s、sih4等)的质量流量、体积流量、压力和温度。mcs系列质量流量控制器通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程气体的质量流量、体积流量和压力。
mw系列质量流量计&质量流量控制器的核心部件是alicat
的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而
补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。
所有alicat质量流量计&质量流量控制器均具有nist可溯源校准证书。alicat提供的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
mw系列质量流量计/质量流量控制器采用全不锈钢结构及弹性密封材料，内置130/128种标准气体供
选择。集成式多功能数字显示屏允许用户通过显示屏按钮操作便可进行气体切换、设定值输入及pid阀门
调节。ms/mcs系列设备支持标准的模拟通讯和rs-232数字通讯模式，另有各类定制化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的atex(欧洲)1类2区和csa(美国)1类2区认证产品等。另有便携式(mbs系列)质量流量计可选。
产品应用
alicat的ms/mcs系列数字式质量流量计/质量流量控制器为腐蚀性过程气体应用的，如：半导体行业等。多变量测量与控制、多种气体标定以及100:1量程可调比使得仅用单台ms/mcs系列质量流量控制器
便可取代多台设备的功效。可达0.4%的精度、0.2%重复性及不到100毫秒的控制响应时间优化了气体控制过程。
ms/mcs质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0-0.5 sccm到0-3000 slpm的满量程的任何流量。
standard compatible gas list for m-series meters
ms 系列质量流量计参数
0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 4000 slpm 满量程